I. Proje Arka Planı ve Ekipman Özellikleri
Bu vaka çalışması, dikey tek çan tek istasyonlu yapıya sahip, tamamen otomatik akıllı iyon nitrürleme fırını, model WDL-IV-75A'yı içermektedir. Ekipman, alaşımlı çelikler, kalıp çelikleri ve paslanmaz çeliklerin iyon nitrürleme ve yumuşak iyon nitrürleme işlemini gerçekleştirebilir.
Fırın gövdesinin etkili çalışma bölgesi 600 mm çapında ve 800 mm yüksekliğindedir, maksimum yükleme kapasitesi 400 kg'dır. Yaygın çalışma sıcaklığı aralığı 500 ila 600°C'dir, maksimum çalışma sıcaklığı 650°C'yi geçmez. Nihai vakum derecesi 6,7 Pa'dan büyük değildir, basınç yükselme hızı 5 Pa/saat'ten büyük değildir ve atmosfer basıncından nihai vakuma boşaltma süresi 30 dakikayı geçmez. Fırın kabuk yüzey sıcaklığı artışı 55°C'yi geçmez.
Model tanımında, IV dördüncü nesil dijital kontrol sistemini, 75 darbe güç kaynağının maksimum ortalama akımını 75 amperde ve A tamamen otomatik akıllı tipi temsil eder.
II. Büyük Hacimli Oda ve Güç Kaynağı Kapasitesi Arasındaki Eşleşme İlişkisi
30A modelinden 75A modeline kadar, darbe güç kaynağının maksimum ortalama akımı 1,5 kat artarken, etkili oda hacmi yaklaşık 28 litreden yaklaşık 226 litreye, yani yaklaşık 8 kat genişler. Bu orantısız değişim, iyon nitrürleme ekipmanının bir tasarım prensibini ortaya koymaktadır: oda hacminin genişletilmesi, güç kaynağı akımının hacimle orantılı olarak artmasını gerektirmez, çünkü iyon nitrürleme için ısıtma gücü öncelikle iş parçası yüzey alanına ve gerekli akım yoğunluğuna bağlıdır, oda uzamsal hacmine değil.
Teklifte verilen anormal parlak deşarj akım yoğunluğu aralığı 0,1 ila 5 mA/cm²'dir. Bu aralığa dayanarak, 400 kg yükleme kapasiteli ve nispeten büyük yüzey alanına sahip bir iş parçası kombinasyonu için, 75 A'lık maksimum ortalama akım, desteklenebilir iş parçası yüzey alanının üst sınırı için net bir tasarım marjı sağlar. Bu arada, darbe güç kaynağı çıkış voltajı 0 ila 800 V arasında sürekli ayarlanabilir, 200 V'un üzerinde ani bir sıçrama olmaz ve görev döngüsü %10 ila %85 aralığında sürekli ayarlanabilir.
III. Darbe Güç Kaynağının Görev Döngüsü Ayarlama Mantığı
Güç kaynağı olarak gaz deşarjı, negatif dirence sahip bir yük sunar. Katot görevi gören iş parçası, yüzey şekli ve istifleme yöntemi yüzey akım yoğunluğunu etkiler. İyon nitrürleme minimum eşik koşuluna sahiptir: tekdüze parlaklık kapsamı için gereken akım yoğunluğunu karşılamak için, ısıtma gücü iş parçası sıcaklığını korumak için gereken gücü aşabilir. Bu çelişki, ince duvarlı, hafif iş parçaları için özellikle belirgindir.
Darbe güç kaynağı ayarlanabilir bir görev döngüsü tanıttıktan sonra, ortalama ısıtma gücü tepe voltajı çarpı akım, sonra görev döngüsü ile çarpılır. Görev döngüsünü azaltarak, parlaklık kapsamını sürdürmek için yeterli tepe voltajını korurken ortalama ısıtma gücü düşürülebilir, böylece yukarıda belirtilen çelişki çözülür. Bu mekanizma, bu ekipman serisinin ağır iş parçalarını ve ince, hafif iş parçalarını aynı anda işleyebilmesinin temel nedenidir.
Hızlı ark söndürme için uygulama yolu şu şekildedir: deşarj devresindeki elektromanyetik indüksiyon prensibini kullanarak ark sinyalini hızla algılama, ardından yüksek hızlı dijital mantık cihazları aracılığıyla ana akım devresinin yüksek hızlı elektronik anahtarını kontrol ederek arkı 2 μs içinde söndürme.
IV. Büyük Hacimli Fırın Gövdesinin Termal İzolasyon ve Sıcaklık Tekdüzelik Tasarımı
Çan silindiri, fırın sıcaklığı tekdüzeliliğini sağlamak için su soğutmalı çift duvarlı yapı ve çok kanallı su soğutma sistemi benimser. Silindirin iç yalıtım astarı paslanmaz çelikten, iç ve dış silindir duvarları ise yüksek kaliteli karbon çelik levhalardan yapılmıştır.
Fırın gövdesi, her biri 2 mm kalınlığında iki kat 304 paslanmaz çelik ısı kalkanı ile donatılmıştır ve fırın taban plakasının üst kısmına da iki kat 304 paslanmaz çelik ısı kalkanı monte edilmiştir. Önceki vaka çalışmasındaki altı katlı ısı kalkanı konfigürasyonuna kıyasla, bu modelde daha az ısı kalkanı katmanı bulunmaktadır. Bu fark, oda hacminin yüzey alanına oranındaki değişiklikten kaynaklanmaktadır – büyük hacimli bir odanın nispeten daha küçük bir ısı dağılım alanı vardır ve ısı kaybı oranı buna göre azalır, bu nedenle uzun süreli yüksek sıcaklıkta çalışmayı sağlarken yalıtım katmanı sayısı uygun şekilde azaltılabilir.
Katot plakası, yüksek kaliteli döküm mika'dan yapılmış üç set üzerinde fırın tabanına monte edilmiştir ve yüksekliği ayarlanabilir. Katot plakası, 30 mm'den az olmayan kalınlıkta karbon çelik levhadan yapılmıştır; iş parçası ile temas eden malzeme tepsisi sabitleme çerçevesi de yüksek kaliteli karbon çelikten yapılmıştır. Katot bağlantı cihazı, gevşek hızlı bağlantı kuplajlarından kaynaklanan aşırı ısınma sorunlarını önlemek için rijit bir bağlantı olarak tasarlanmıştır. Katot yapısı, katot PTFE yalıtımını, katot yalıtım mika'sını, katot iletken bağlantı soketini, katot bağlantı parçasını ve M10 saplama cıvata sabit bağlantı kablo pabucunu içerir.
Fırın taban plakasından iki termokupl tanıtılır ve sıcaklık ölçüm kafasını simüle etmek için katot plakasının ortasına yerleştirilir. Biri iyon ısıtma darbe güç kaynağı tarafından sıcaklık kontrolü için kullanılır, diğeri ise çok yönlü sıcaklık izleme için alarm cihazına bağlanır. Fırın kabuğunun dış çevresinde çok yönlü fırın içi koşulları gözlemlemek için üç gözlem penceresi bulunmaktadır.
V. Vakum Sistemi ve Basınç Kapalı Döngü Kontrolü
Vakum sistemi, fırın gövdesinin ön vakumlanması ve nitrürleme işlemi sırasında atmosfer değişimi ve egzoz gazı tahliyesi için kullanılır. Pompa seti, bir adet 2X-15 döner kanatlı pompa, bir adet şişirme valfli elektromanyetik vakum pompası ve bir adet yüksek vakum kelebek valften oluşur. Döner kanatlı pompa, Guangdong Xunda 2X serisi bir ünitedir, proses gazı korozyonuna dayanıklıdır, frekans dönüştürücü tarafından kontrol edilir ve ana kontrol valfi olarak bir GI-50 yüksek vakum kelebek valfi ile donatılmıştır.
Basınç kapalı döngü kontrol prensibi şu şekildedir: basınç vericisi fırın basıncını ölçer ve dijital kontrolöre standart bir akım sinyali gönderir. Kontrolcü, ayarlanmış basınç değeri ve gerçek zamanlı örneklenen değerlere göre PID hesaplamaları yapar, ardından frekans dönüştürücüye standart bir akım sinyali gönderir. Vakum pompası motor hızını ayarlayarak, pompalama hızı ayarlanır, böylece fırın basıncı işlem ayar değerinde sabit tutulur. Bu kontrol yöntemi, ±1 Pa basınç kontrol doğruluğu sağlar. Vakum pompası ve frekans dönüştürücünün birlikte kullanılması, başlatma sırasında pompanın gövdesinde mekanik aşınmayı büyük ölçüde azaltır ve uzun süreli düşük hızlı çalışma hizmet ömrünü önemli ölçüde uzatabilir.
Vakum ölçümü, 0 ila 1000 Pa aralığında, 4 ila 20 mA çıkışlı ve 15 ila 30 VDC güç kaynağına sahip ZJ-1C tipi kapasitif diyafram mutlak basınç vericisi kullanır. Bu vakum göstergesi, ölçülen ortamın türü ve bileşiminden etkilenmez ve ölçülen değer bir dijital ekran cihazı tarafından görüntülenir ve fırın basıncı kontrolüne katılır.
VI. Gaz Dağıtım ve Soğutma Suyu Sistemleri
Gaz dağıtım sistemi, proses gazının fırına girişini kontrol etmek için kullanılır. Gaz kaynakları, kullanıcı tarafından sağlanan nitrojen, hidrojen ve diğer proses gazlarıdır. Gazlar kütlesel akış ölçerlerden geçer ve ardından proses formülüne göre özel bir karıştırma tankından fırın gövdesine verilir. Bu model, nitrojen ve hidrojen akışını ayrı ayrı kontrol eden iki özel kütlesel akış ölçer ile donatılmıştır – bu, 30A modelinin tek akış ölçer konfigürasyonundan ana farktır ve büyük hacimli bir odada atmosfer bileşimi ayarlama hassasiyeti için daha yüksek gereksinimlere karşılık gelir.
Kütlesel akış ölçerler, Japon HORIBA S500 serisi ünitelerdir, kontrol başladığında ve kontrol sırasında ayar noktası değiştirildiğinde tam kapalı durumdan ayar noktasına ulaşmak için 0,3 ±2% saniyeden daha kısa yanıt süresine sahiptir. Kontrol aralığı tam ölçeğin %1 ila %100'ünü kapsar, tek bir evrensel DC24V güç kaynağından çalışır, dahili güç devresi giriş ve çıkış devrelerinden izole edilmiştir.
Soğutma suyu gereksinimleri: giriş suyu sıcaklığı 31°C'yi geçmez, giriş suyu basıncı 0,15 ila 0,25 MPa ve toplam akış hızı 20 m³/saat. Her soğutma suyu dalı ayrı giriş ve çıkış vanaları ile donatılmıştır. Ekipmana bağlı tüm soğutma suyu boruları, vanaları ve bağlantı parçaları paslanmaz çelikten yapılmıştır. Ana giriş borusuna, anormal giriş basıncı durumunda alarmlar için bir elektrik kontak basınç göstergesi monte edilmiştir. Ana su giriş borusuna, kullanıcının musluk suyu borusuna bağlı bir yedek su giriş valfi monte edilmiştir, böylece beklenmedik bir güç kesintisi veya su kesintisi durumunda fırın gövdesi musluk suyu ile soğutulabilir.
VII. Kontrol Sisteminin Üç Parametreli Kapalı Döngü Mimarisi
Kontrol sistemi, ana kontrol merkezi olarak bir FX3G serisi programlanabilir mantık kontrolcüsü ve bir Kunlun Tongtai TPC1231Ni dokunmatik ekran kullanır. PLC, 32K adım program belleği kapasitesine, 0,21 μs temel komut işleme hızına ve iki yüksek hızlı iletişim arayüzüne (RS422 ve USB) sahiptir. Dokunmatik ekran, 1920×1080 çözünürlüklü, dört telli rezistif dokunmatik, 1 GHz ana frekanslı ve önceden yüklenmiş McgsPro yapılandırma yazılımına sahip 12 inç TFT LCD'dir.
Sistem, iyon nitrürlemenin üç anahtar parametresinin kapalı döngü kontrolünü eşzamanlı olarak gerçekleştirebilen, çok görevli merkezi yönetim ve dağıtılmış kontrol tam dijital mimarisini benimser: sıcaklık kontrol doğruluğu ±1°C, basınç kontrol doğruluğu ±1 Pa ve akış kontrol doğruluğu ±0,5%.
Sıcaklık kontrolü, sıcaklık kontrol devresi ve termokupl ile bir sıcaklık kapalı döngü düzenleme sistemi oluşturan PID regülasyonlu Japon Shimaden SRS13 serisi dijital kontrolörleri kullanır. Basınç kontrolü de Shimaden SRS13 dijital kontrolörleri kullanır, bir frekans dönüştürücü ve basınç sensörü ile bir basınç kapalı döngü düzenleme sistemi oluşturur.
Otomatik çalışma modunda, sistem otomatik olarak bakım pompasını ve ön vakum pompasını başlatır, vakum çekmek için bölme valfini ve solenoid valfi açar. Vakum, parlak deşarj aktivasyonu için çalışma basıncına ulaştığında, parlak deşarj voltajı ve direnç destekli ısıtma otomatik olarak etkinleştirilerek ilk iş parçası arkı ve temizleme işlemi gerçekleştirilir. Ark bittikten sonra, sistem otomatik olarak ısıtma aşamasına girer, işlem eğrisi tasarım adımlarına göre akış hızını, basıncı, voltajı, görev döngüsünü ve akımı otomatik olarak ayarlar. Sıcaklık işlem sıcaklığına ulaştığında, sistem sıcaklık bakım aşamasına girer, belirlenen işlem tutma süresine göre bakım yapar. Tutma süresinden sonra, sistem vakum pompasını ve çekme hattındaki tüm vanaları kapatır. Fırın sıcaklığı belirlenen sıcaklığa düştüğünde, tüm anahtarlar otomatik olarak kapanır ve sistem durma durumuna girer.